關(guān)于無塵廠房中的氣流速度規(guī)定
無塵廠房是指控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。
氣流速度是指無塵廠房內(nèi)的氣流速度,由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這個概念,而不直接用速度的概念,不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求:
1、送風口出口氣流速度不宜太大,較于單純空調(diào)房間,要求速度衰減越快,擴散角度越大。
2、吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大于0.2m/s。